马路科技推出汇专两款全新机型——超声绿色雕铣加工中心UEM-600 PLUS、超声双主轴立式加工中心 UDV-550，展示半导体行业超声高效加工解决方案。

丰富零部件产品阵容：超声刀柄、超硬刀具、冷压刀柄、冷压机、精密转台，全面覆盖高效精密加工需求！

机床新品速递

超声绿色雕铣加工中心 UEM-600 PLUS

全新升级机床更高精度加工

• 超声电主轴最高转速40,000rpm

• 全行程定位精度≤2.5μm，重复定位精度≤1.8μm
• Z轴采用直线电机，有效提升加工效率和刀具寿命
• 配备刀具监控系统，可监测小刀具在加工过程中的磨损和断刀情况
• 光栅尺全闭环控制
• 迷宫结构，三层防护

超声绿色雕铣加工中心 UEM-600

敬请期待

马路科技昆山公司展厅即将引进汇专超声绿色雕铣加工中心 UEM-600，帮助工厂解决实际生产中的加工难题，近距离感受这款设备带来的技术革新与高效加工体验。

超声双主轴立式加工中心 UDV-550

双超声主轴独立控制

• 配置双超声主轴，独立控制，一次装夹实现双零件同步加工

• 大扭矩伺服电机，具备高精度与高动态响应性导轨丝杠防护钣金采用迷宫设计，多层防护采用滚柱导轨，刚性高

零部件产品

超声绿色热缩刀柄

• 3倍径向跳动精度≤3μm
• 装刀次数≥5,000次
• 搭配汇先热装机使用，性能更优

冷压机

➤ 精度高

• 2μm超高精密装刀精度，稳定可靠

➤ 设计合理

• 桌面型设计，占地面积小，设计简约大气

➤ 功能多样

• 连续拆刀、连续装刀、拆装刀循环三种功能模式可选，可更换拆装模块，适用不同规格刀柄

➤ 操作简单

• 按钮简化，操作便捷
• 配置触摸控制屏
• 采用220V液压动力系统，插电即用

➤ 先进工艺及配件

• 日常接触位置标识采用蚀刻工艺，不易褪色
• 国外进口按钮配件，有效提高机械按钮寿命

DDR立式高速转台

• 高速车铣复合，最高转速700rpm
• 迷宫密封防护设计，可应对大粉尘极端恶劣工况
• 硬脆材料高效高质铣磨加工上佳选择

加工解决方案

实现CVD碳化硅喷淋盘 D1.0/D0.5mm阶梯孔加工新突破

材料：CVD碳化硅（HV3,150）

加工特征：D1.0*5.8mm / D0.5*5.4mm阶梯孔

例如，应用于CVD碳化硅喷淋盘D1.0/D0.5mm阶梯孔加工时，单孔加工时间从11分25秒缩短至5分58秒，加工效率提升47.8%，刀具寿命提升160%，加工成本降低50%，显微镜放大至50倍检测，孔口崩边量≤0.02mm。

马路科技汇专超声绿色机床搭载超声加工技术及整体PCD刀具的解决方案，在硬脆材料、金属材料、工程塑料等超深微孔及高精度质量加工中具有明显优势，成功加工了CVD碳化硅喷淋盘、单晶硅曲面电极、多晶硅栅极环、石英玻璃喷淋盘、石英轻量化反射镜镜片、蓝宝石工件、不锈钢工件、工程塑料探针卡等半导体零件，有效提升加工效率，改善工件表面质量，实现连续稳定加工。